科学雅士 敢为人先——纪念王守武院士诞辰100周年

  • 日期:2019-03-29
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      王守武(1919年3月15日-2014年7月30日),江苏苏州人,半导体器件物理学家、微电子学家,中国半导体科学技术的发展做出了卓越贡献。谨以此篇文章缅怀和纪念这位中国半导体技术领域的开拓者和引路人。

满腔热血,科学救国

      他1941年毕业于同济大学机电系,毕业后曾在工厂当过工务员和工务主任,后回母校任教。抗日战争胜利后,王守武出于爱国热忱,憧憬科学救国的道路,负笈远行,入美国普渡大学攻读工程力学,获硕士学位,后又从事量子力学的研究,获博士学位。1950年,他携同夫人葛修怀女士和不满周岁的女儿回到祖国,为新中国的科教事业效力。

1949年王守武、葛修怀夫妇在美国普渡大学(王守武获博士学位)

中流砥柱,才思敏捷

      1956年,整个国家科技事业迎来大发展时期,同时也成为王守武科研工作的转折点。他参加了周恩来总理主持的“全国十二年科学技术发展远景规划”的制定工作,为落实开拓我国半导体科学这个新的领域,他走遍祖国大江南北,举办各种半导体科学技术报告会,为普及半导体科学知识做出了重要贡献。他亲手组建了我国第一个半导体研究室,组织领导了锗材料制备和提纯等研究工作,亲自设计制造了我国第一台制备半导体锗材料的单晶炉,拉制成功了我国第一根锗单晶。他与参加半导体联合攻关课题组的院内外同事们合作,研制成功了锗晶体二极管和锗合金结晶体管,填补了国家空白,实现了国家半导体科学研究工作零的突破。

王守武与研究人员在超净线工作

      1958年,王守武亲手创建了我国最早的晶体管生产工厂—中国科学院109厂(现中国科学院微电子研究所)。作为国家最早的微电子技术科技成果转化规模化生产的基地,很快实现了高频锗晶体管的生产,在国内率先研制成功集成电路,促成了我国第二代计算机-晶体管计算机的诞生。在参与研制成功锗高频合金扩散管的同时,他解决了拉制硅单晶过程中的跳硅难题,在与林兰英的共同努力下,促成了我国第一根硅单晶的诞生,为微电子高技术发展及其相关高技术领域的发展打下了坚实的基础。

我国第一根硅单晶

我国第一批硅平面晶体管,用于109机

      1960年,王守武受命筹建成立了专门从事半导体科学研究的中国科学院半导体研究所,并被任命为主管研究工作的首任副所长。是年,世界第一台激光器诞生,两年后,美国和前苏联相继研制成功半导体激光器。远见卓识、机敏执着的王守武以攀登不止的勇气认定中国人有能力在世界科技前沿占有一席之地,于1963年组建了半导体激光器研究室,亲自兼任室主任。经过近一年的努力,于研制成功了我国第一台半导体激光器,这是当时我国可与世界科技并驾齐驱的项目之一。

      大规模集成电路的攻关,是我国半导体科学技术发展的重要历程。1978年10月,王守武受命全面负责4千位全功能MOS随机存储器大规模集成电路的研制任务。1979年9月,研制成功了4千位大规模集成电路,在当时的条件下,批量成品率达到20%,片成品率最高达40%,为国内最高水平,结束了我国不能制造大规模集成电路的历史,冲破了洋人的封锁,解决了国家的急需,这一研制成果荣获中国科学院1980年科研成果一等奖,王守武也因此荣获“全国劳动模范”的称号。

1978年4月黄昆参加全国科学大会与王守武、林兰英进行讨论

高瞻远瞩,敢为人先

      70年代末期,国家急需解决集成电路大生产的实用性技术。1980年2月,王守武被调到中国科学院109厂(现中国科学院微电子研究所)兼任厂长职务。王守武一到工厂,就像医生一样对每台设备进行认真检查。他组织改造和完善了通风系统、排毒系统等工艺设施,在不太长的时间内,就将老厂房改造成满足大生产需求的高净化标准的超净厂房,又指导科研人员建立起一条设备性能可靠、工艺流程稳定、操作程序规范的生产线,实现单项工艺保质,串线过关。一切准备工作就绪后,他以电视机用的一个集成电路品种进行流片式生产,一次就取得了芯片成品率高达50%以上的可喜效果,比国内其他研制单位的同类产品成品率高三至四倍,这一大生产试验线及其成果获得1986年中国科学院科技进步二等奖。同时“集成电路大生产试验”获得国家计委科技攻关成绩显著表彰及中国科学院“六五”科技攻关重要贡献表彰。

1985年王守武厂长带领IC大生产试验鉴定会与会人员参观生产线

      1986年,以原109厂为基础,组建了中国科学院微电子中心(现中国科学院微电子研究所),年事已高的王守武,被任命为中心“终身名誉主任”。在他亲自领导下,中心完成了一系列国家重大任务:“世界新技术革命和我国的对策”研究项目获国家科学技术进步奖二等奖;圆满完成集成电路中试生产线的工程建设,顺利通过国家联合验收,并再次获1990年中国科学院科技进步二等奖;“0.8μm CMOS集成电路制造技术”获中国科学院科技进步一等奖,及国家科技进步二等奖。2003年,中国科学院微电子中心正式更名为中国科学院微电子研究所,王守武为其题词“求实创新,为国为民”。

王守武任微电子中心“终身名誉主任”

将育良才,运筹帷幄

      王守武深知人才和知识的重要性,十分注重人才培养和知识传承。他为国家培养了第一批半导体专业学生;先后培养了20余名硕士、博士,其中,吴德馨、庄蔚华、洪坚、余金中等都成为我国半导体和微电子事业中坚力量;他作为《硅谷》和《半导体学报》的主编,作为中国电子学会理事、常务理事,中国电子学会半导体与集成技术专业分会主任委员,为国内外同行增进了解,开展学术交流做出了重大贡献。2006年起,王守武及夫人葛修怀为帮助贫困学子能够继续完成学业,在湖北省鄂州市泽林高中设立了“英才奖学金”。他创造了诸多半导体技术领域的第一,做出了许多光辉的业绩,但从没有渲染过自己的功劳,正如他为中国科学院微电子研究所所刊题词“芯中有天地”。

王守武为微电子所题词

      问汝平生功和业,化作春泥护花香。王守武把发展中国半导体科学和集成电路事业视为己任,兢兢业业为之奋斗了一生,在即将去世的时候还不忘为国家做贡献,他要将自己的毕生积蓄全部用于为国家培养更多的科技人才。2014年12月,王守武家属根据其遗愿捐资500万元在中国科学院大学设立了“王守武奖学金”,以激励中国科学院微电子研究所和中国科学院半导体研究所在学研究生勤奋学习、创新进取,为筑科技强国之厦不断的添砖加瓦,让王守武的科学家精神一代一代“芯”火相传。

      3月27日,在王守武院士诞辰100周年之际,中国科学院大学微电子学院也举办了王守武院士100周年诞辰纪念会系列活动,图为微电子学院学生会的成员悉心为路过的同学们讲解王守武院士为我国科研和教育事业奋斗的不凡人生,并为同学们发放以王守武院士为主题的纪念明信片,同时也倡导了同学们学习和弘扬他的爱国情怀、科学精神、师德风尚和高尚品格。